atom katman bırakımı
-
Kalınlığı kontrol edilebilir çok ince katmanlı yüzeye bırakım teknolojisinde kullanılan, tepken adı verilen farklı gaz fazındaki kimyasal bileşiklerin teker teker bırakım sürecine tabi tutulduğu, nano malzemeler ve yarıiletken üretiminde yararlanılan teknoloji
İngilizce atomic layer depositionFransızca dépôt par couche atomique, mAlmanca Atomlagenabscheidung, f