elektron demeti litografisi
-
Elektromanyetik mercekler aracılığı ile yönlendirilen ve odaklanan bir elektron demetinin duyarlı bir rezist katmanı üzerinde iki boyutlu taranması ile mikrometre ya da nanometre ölçeğindeki bir yapının örüntülerinin oluşturulduğu litografi tekniği.
İngilizce electron beam projection lithography; electron projection lithography; projection electron lithographyFransızca lithographie par projection de faisceau d'électrons, f; lithographie par projection électronique, f; lithographie électronique de projection, fAlmanca Elektronenstrahllithographie, f