elektron demetli buhar biriktirme işlemi
-
Anottaki hedef malzemenin, çok yüksek vakum altında, genellikle tungsten bir filaman ile elektron bombardımanına tutulması, elektron demetinin hedefteki atomların yüzeyden kopararak gaz fazına geçirmesi, buharlaştırılan atomların vakum çemberi içindeki her noktaya yapışarak ince bir film oluşturması süreci.
İngilizce EBPVD; electron beam physical vapor depositionFransızca procédé physique par faisceau d'électrons, mAlmanca Elektronenstrahlverdampfer, m