elipsometri
-
İnce filmlerin dielektrik özelliklerinin yanında optik özelliklerini, kalınlığını, kristal yapısını, yüzey pürüzlülüğünü belirlemek için kullanılan ve yansıyan ya da içinden geçen polarmasına dayalı teknik.
İngilizce ellipsometryFransızca ellipsométrie, fAlmanca Ellipsometrie, f