fotolitografi
-
Basım aracı olarak ışık huzmesi kullanarak bir cismin üzerini kaplayan ışığa duyarlı bileşen barındıran fotorezist katmanına mikrometre ya da nanometre ölçeğinde bir örüntüyü, ışık huzmesini uygun bir şablon maskeden geçirerek kopyalamaya elveren teknik.
Eşanlam: optik litografiİngilizce photolithography; photo-lithography; optical lithographyFransızca photolithographie, f; lithographie optique, fAlmanca Photolithographie, f