iyon huzmeli litografi
-
Elektrostatik mercekler aracılığı ile yönlendirilen bir iyon huzmesinin duyarlı bir rezist üzerinde taranması ile mikrometre ya da nanometre ölçeğinde bir yapının örüntülerinin oluşturulduğu litografi tekniği.
İngilizce ion beam projection lithography; ion projection lithography; projection ion lithographyFransızca lithographie par projection d'ions, f; lithographie par projection ionique, f; lithographie ionique par projection, fAlmanca Ionenstrahl-Lithographie, f