X ışınlı litografi

1. • elektrik-elektronik
   Aynalar ve maske aracılığı ile yönlendirilen 0,5-50 nm dalga boyundaki X ışınlarıyla (bu dalga boyundaki) ışığa duyarlı bir rezist üzerinde istenen örüntülerin oluşturulduğu litografi tekniği.
   Eşanlam:  Röntgen litografisi
   İngilizce X-ray lithography; X-lithography

   Fransızca lithographie par rayons X, f; lithographie aux rayons X, f; lithographie X, f

   Almanca Röntgenlithografie, f