yumuşak litografi
-
Bir malzemeyi kaplayan rezist katmanının üzerine mikrometre veya nanometre ölçeğindeki bir deseni basmak üzere elastomer gibi yumuşak bir malzemeden yapılmış ıstampa ya da kalıptan yararlanılan litografi tekniği.
İngilizce soft lithographyFransızca lithographie molle, f; lithographie douce, fAlmanca weiche Lithographie, f; Mikrokontakt-Stempeldruck, m