cathodic sputtering

katot püskürtümü

1. • elektrik-elektronik
   Çoğunlukla yarıiletken teknolojisinde ince film üretmek için kullanılan yüksek enerjili parçacıkların bombardımanı ile katı bir maddeden atomların serbest bırakılması işlemi.
   Eşanlam:  katottan fışkırtma
   İngilizce cathodic sputtering; sputtering

   Fransızca pulvérisation cathodique, f

   Almanca Kathodenzerstäubung, f; Sputtern, n