chemical vapor deposition

kimyasal bırakım

1. • elektrik-elektronik
   Yarıiletken endüstrisinde kullanılan, yüksek nitelikli ince filmlerin üretiminde kullanılan, buharlaştırılmış ya da uçucu tepkenlerin bir alttaşın üstünde tepkimeye girmesiyle oluşan kimyasal süreç.
   Eşanlam:  kimyasal buhar bırakımı
   İngilizce chemical vapor deposition

   Fransızca dépôt chimique en phase vapeur, m

   Almanca chemische Gasphasenabscheidung, f