extreme UV lithography

uç morötesi litografi

1. • elektrik-elektronik
   Aynalar ve maske aracılığı ile yönlendirilen 10-14 nm dalga boyundaki morötesi ışınlarla (bu dalga boyundaki) ışığa duyarlı bir fotorezist üzerinde istenen örüntülerin oluşturulduğu litografi tekniği.
   İngilizce extreme ultraviolet lithography; extreme UV lithography; soft X-ray lithography

   Fransızca lithographie par ultraviolets extremes, f; lithographie UV extreme, f; lithographie par rayons X mous, f

   Almanca EUV-Lithografie, f