ion beam projection lithography

iyon huzmeli litografi

1. • elektrik-elektronik
   Elektrostatik mercekler aracılığı ile yönlendirilen bir iyon huzmesinin duyarlı bir rezist üzerinde taranması ile mikrometre ya da nanometre ölçeğinde bir yapının örüntülerinin oluşturulduğu litografi tekniği.
   İngilizce ion beam projection lithography; ion projection lithography; projection ion lithography

   Fransızca lithographie par projection d'ions, f; lithographie par projection ionique, f; lithographie ionique par projection, f

   Almanca Ionenstrahl-Lithographie, f