MEMS

mikroelektromekanik sistem

1. • mühendislik
   Elektronik, mekanik, termik, manyetik, optik ve akışkanlar gibi farklı alanları bir araya getiren ve algılama, eyleme, sinyal işleme, görüntüleme ve kontrol gibi işlevleri yerine getiren, mikrometrik boyutlarda üretilmiş tümleşik sistemler.
   Eşanlam:  MEMS
   İngilizce MEMS; microelectromechanical system; microelectromechanical device; microelectromechanical machine

   Fransızca microsystème électromécanique, m; système microélectromécanique, m

   Almanca Mikrosystemtechnik, f; mikro-elektromechanisches System, n